产品先容 | Chiller高精度换热温控单位（PHE系列）
在半导体制造工艺中，，，温度控制是实现高精度工艺流程的要害环节。。。。
Chiller高精度换热温控单位PHE系列产品，，，以其卓越的控温性能和稳固性，，，成为半导体行业、激光手艺、高端医疗和细密实验室等领域的首选。。。。
Chiller高精度换热温控单位
PHE系列
5~110℃
Chiller高精度换热温控单位PHE系列产品，，，可实现对装备出口温度的精准控制，，，控温精度在±0.1℃以内。。。。主要部件均接纳国际着名品牌，，，产品稳固性高。。。。循环系统包括循环泵、电加热管、板式换热器、水箱、排气阀、单向阀、热电阻、管道等组成。。。�？？？？？？？刂葡低辰幽蒔ID控制手艺，，，高清触摸屏显示，，，设有多项保�；；； ；すπ�，，，确保装备清静运行。。。。通过机组自身的制冷与加热，，，向外界运送载热流体，，，知足工艺条件要求。。。。
产品主要应用于半导体制程中CVD/PVD、Etch和IMP准确控温领域，，，激光、高端医疗和细密实验室温控计划。。。。
支持定制。。。。
系统无需压缩机，，，使用公用工程冷却水举行降温与温度控制。。。。
全密闭设计，，，无油雾、无异味，，，导热液体使用寿命长。。。。
自力的制冷与加热单位，，，准确控制温度转变，，，热惯性小，，，响应速率快，，，可实现快速降温或升温。。。。
结构紧凑，，，占地面积小，，，装置利便，，，移动便捷。。。。
运行状态实时显示，，，故障自动诊断，，，具备多项报警保�；；； ；すπ�。。。。
基于高级动态控制系统，，，确保每次控制效果一致，，，提升生产稳固性。。。。
自顺应PID算法，，，顺应差别情形和负载，，，无需调解参数，，，实现最佳温度控制。。。。
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