Chiller高精度冷热循环器PTS系列产品 ，，，，， ，可实现对装备出口温度的精准控制 ，，，，， ，控温精度在±0.1℃以内。。 。。。。。。产品主要应用于半导体制程中CVD/PVD、Etch和IMP准确控温领域 ，，，，， ，激光、高端医疗和细密实验室温控计划。。 。。。。。。全系列接纳全直流变频压缩机 ，，，，， ，磁力耦合泵 ，，，，， ，电子膨胀阀节约装置 ，，，，， ，西门子控制器 ，，，，， ，压缩机及主要制冷部件均接纳国际着名品牌 ，，，，， ，产品稳固性高。。 。。。。。。循环系统包括循环泵、电加热管、膨胀容器、排气阀、单向阀、热电阻、管道等组成。。 。。。。。。� ？？？？？ ？刂葡低辰幽蒔ID控制手艺 ，，，，， ，高清触摸屏显示 ，，，，， ，设有多项�；；；；；；；；すπ� ，，，，， ，确保装备清静运行。。 。。。。。。通过机组自身的制冷与加热 ，，，，， ，向外界运送载热流体 ，，，，， ，知足工艺条件要求。。 。。。。。。
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TLS细密冷水机：使用温度规模：5~85℃ ，，，，， ，配有加热器 ，，，，， ，属于制冷加热一体机。。 。。。。。。型号按加热功率命名 ，，，，， ，加热功率在1.5~25kW之间。。 。。。。。。细密冷水机可以知足准确控温的需求 ，，，，， ，也可以凭证客户要求选配流量计和压力传感器。。 。。。。。。本产品适用于半导体制造装置、剖析检测装置等发热部分的冷却及温度的控制。。 。。。。。。
Chiller高精度换热温控单位PHE系列产品 ，，，，， ，可实现对装备出口温度的精准控制 ，，，，， ，控温精度在±0.1℃以内。。 。。。。。。产品主要应用于半导体制程中CVD/PVD、Etch和IMP准确控温领域 ，，，，， ，激光、高端医疗和细密实验室温控计划。。 。。。。。。主要部件均接纳国际着名品牌 ，，，，， ，产品稳固性高。。 。。。。。。循环系统包括循环泵、电加热管、板式换热器、水箱、排气阀、单向阀、热电阻、管道等组成。。 。。。。。。� ？？？？？ ？刂葡低辰幽蒔ID控制手艺 ，，，，， ，高清触摸屏显示 ，，，，， ，设有多项�；；；；；；；；すπ� ，，，，， ，确保装备清静运行。。 。。。。。。通过机组自身的制冷与加热 ，，，，， ，向外界运送载热流体 ，，，，， ，知足工艺条件要求。。 。。。。。。
Chiller高精度冷热循环器PTS系列产品 ，，，，， ，可实现对装备出口温度的精准控制 ，，，，， ，控温精度在±0.1℃以内。。 。。。。。。产品主要应用于半导体制程中CVD/PVD、Etch和IMP准确控温领域 ，，，，， ，激光、高端医疗和细密实验室温控计划。。 。。。。。。全系列接纳全直流变频压缩机 ，，，，， ，磁力耦合泵 ，，，，， ，电子膨胀阀节约装置 ，，，，， ，西门子控制器 ，，，，， ，压缩机及主要制冷部件均接纳国际着名品牌 ，，，，， ，产品稳固性高。。 。。。。。。循环系统包括循环泵、电加热管、膨胀容器、排气阀、单向阀、热电阻、管道等组成。。 。。。。。。� ？？？？？ ？刂葡低辰幽蒔ID控制手艺 ，，，，， ，高清触摸屏显示 ，，，，， ，设有多项�；；；；；；；；すπ� ，，，，， ，确保装备清静运行。。 。。。。。。通过机组自身的制冷与加热 ，，，，， ，向外界运送载热流体 ，，，，， ，知足工艺条件要求。。 。。。。。。
直冷型制冷机接纳制冷剂直接蒸发 ，，，，， ，降温方法为相变制冷 ，，，，， ，与液冷的温差降温相比 ，，，，， ，降温速率快 ，，，，， ，能效高 ，，，，， ，装备无循环系统 ，，，，， ，形状尺寸更紧凑！
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