产品先容 | Chiller高精度冷热循环器（PTS系列）

宣布时间：2025年07月14日　　　阅读次数：234 次

精准控温，，，，，精度卓越

在当今高科技制造业中，，，，，特殊是在半导体行业的CVD/PVD、Etch和IMP等要害工序，，，，，对温度的准确控制是包管产品质量和工艺稳固性的要害。。。。。。。Chiller高精度冷热循环器PTS系列产品，，，，，以其优异的性能和精准的温度控制，，，，，成为半导体制程中温度控制的理想选择。。。。。。。

Chiller高精度冷热循环器

PTS系列

控温规模

-30~90℃

控温工具

产品主要应用于半导体制程中CVD/PVD、Etch和IMP准确控温领域，，，，，激光、高端医疗和细密实验室温控计划。。。。。。。

是否支持定制

支持定制。。。。。。。

事情原理图 沙龙会sa36(国际)官方网站

装备特点

变频手艺与节能

接纳变频手艺，，，，，通过系统结构设计和自主控制算法，，，，，精准调理压缩机输出频率，，，，，知足制程需求的同时实现最低能耗。。。。。。。

全密闭式系统

全密闭设计，，，，，无油雾、无异味，，，，，导热液体使用寿命长。。。。。。。

快速加热与制冷

加入循环的导热液体少，，，，，加热和制冷速率快。。。。。。。自力的制冷与加热单位，，，，，准确控制温度转变，，，，，热惯性�。。。。。。。�，，，，响应速率快。。。。。。。

模�？？？？？？榛杓�

结构紧凑，，，，，占地面积�。。。。。。。�，，，，装置利便，，，，，移动便捷。。。。。。。

智能监控与诊断

运行状态实时显示，，，，，故障自动诊断，，，，，具备多项报警保唬�；；；すπ�。。。。。。。

控制重复性与稳固性

基于高级动态控制系统，，，，，确保每次控制效果一致，，，，，提升生产稳固性。。。。。。。

自顺应PID控制

自顺应PID算法，，，，，顺应差别情形和负载，，，，，无需调解参数，，，，，实现最佳温度控制。。。。。。。

应用场景

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沙龙会sa36

半导体行业温控专家