主要用于半导体流片测试装备中、提供晶圆测试所需要的温度举行细密控制,,,,,,以抵达测试所需要温度。。。。
温度控制的精度可达目的温度±0.01℃,,,,,,确保产线情形的稳固性及产品的良率
温度控制精度
±2%RH~±1%RH
主要用于面板厂、晶圆厂、封装测试厂细密温湿度控制
温度控制的精度可达目的温度±0.01℃,,,,,,此装备可知足制程情形更精准的温控需求,,,,,,确保产线情形的稳固性及产品的良率。。。。
从芯片研发的动态测试,,,,,,到前道制造的蚀刻、CVD、离子注入,,,,,,我们提供贯串半导体全工业链的温控解决计划。。。。
化学药液(BHF,DHF药液等)细密温控器是专门针对 DHF(Dilute Hydrofluoric Acid,,,,,,稀氢氟酸)药液设计研发的一种能够实现高精度温度控制的装备。。。。