恒温恒湿机

恒温恒湿机在基板曝光前，，，，能有用维持其外貌温度的均一性。。。。。。。经由此装备处置惩罚后的空气，，，，温度控制精度可达目的值士0.01°℃，，，，充分知足制程情形对温控的极致要求。。。。。。。该装备的应用，，，，不但确保了产线情形的稳固，，，，更为产品的高良率提供了坚实包管。。。。。。。在细密制造领域，，，，恒温恒湿机的这一卓越性能，，，，无疑为生产流程的顺畅与品质的提升孝顺了不可或缺的实力。。。。。。。

主要用于面板厂、晶圆厂、封装测试厂细密温湿度控制

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参数看清晰

装备名称

温度控制精度
湿度控制精度
适用领域

恒温恒湿机

±0.1℃~±0.01℃
±2%RH~±1%RH
主要用于面板厂、晶圆厂、封装测试厂细密温湿度控制

产品推荐

-135℃~+225℃,可以知足差别温度的需求，，，，可非标定制；；；；；；；；可选配准确控温形式，，，，控温精度最高可达±0.1℃; 接纳高效换热器，，，，降温速率快，，，，常温至-80℃最快只需5分钟；；；；；；；；可选配冷量接纳装置，，，，提升能效，，，，阻止低温冷凝水。。。。。。。可选配进气流量自动控制与检测

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直冷型制冷机接纳制冷剂直接蒸发，，，，降温方法为相变制冷，，，，与液冷的温差降温相比，，，，降温速率快，，，，能效高，，，，装备无循环系统，，，，形状尺寸更紧凑！

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液晶面板测试温控装备又叫：LCD液晶恒温测试机、平板显示细密恒温机、液晶面板细密恒温机、液晶平板恒温机主要用于面板厂、晶圆厂、封装测试厂细密温湿度控制

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主要用于半导体制程中对多路反应腔室的精准控温，，，，装置由热交流器、循环泵、压缩机和控制系统组成，，，，接纳先进的控制算法，，，，提高了chiller的稳固性、控温精度和反应速率。。。。。。。在带负载的情形下控温精度可达±0.5℃，，，，可在-20℃~85℃之间恣意控温，，，，有优异的温度稳固性。。。。。。。