沙龙会sa36

主要用于半导体制程中对多路反应腔室的精准控温，，，，，装置由热交流器、循环泵、压缩机和控制系统组成，，，，，接纳先进的控制算法，，，，，提高了chiller的稳固性、控温精度和反应速率。
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。。。。 在带负载的情形下控温精度可达±0.5℃，，，，，可在-20℃~85℃之间恣意控温，，，，，有优异的温度稳固性。
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热控卡盘平板又叫控温卡盘、控温平板、快速温变卡盘、崎岖温控温卡盘，，，，，该装备系统自身带制冷系统，，，，，阻止了液氮、二氧化碳的消耗，，，，，提供了一个准确可控的温度平台，，，，，可以快速加热、冷却或坚持温度，，，，，

又叫做：接触式崎岖温装备、接触式局部快速温变仪、接触式芯片崎岖温测试装备，，，，，通过测试头与待测器件直接贴合的方法实现能量转达，，，，，与古板气流式崎岖温装备（热流仪、温箱等）相比具有升降温效率高，，，，，操作简朴利便，，，，，体积小巧，，，，，噪音低等特点。
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接纳一组冷却换热器，，，，，一组加热换热器，，，，，通过比例调理阀控制冷热量进入到换热器，，，，，再通过统一介质输入到反应釜夹套举行换热控温，，，，，系统内置有膨胀罐。
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