沙龙会sa36

在温度控制方面，，，其精度可达 ±0.1℃。。
。。。。无论是高温情形下的稳固维持，，，照旧低温状态的精准把控，，，都能轻松应对。。
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恒温恒湿机在基板曝光前，，，能有用维持其外貌温度的均一性。。
。。。。经由此装备处置惩罚后的空气，，，温度控制精度可达目的值士0.01°℃，，，充分知足制程情形对温控的极致要求。。
。。。。该装备的应用，，，不但确保了产线情形的稳固，，，更为产品的高良率提供了坚实包管。。
。。。。在细密制造领域，，，恒温恒湿机的这一卓越性能，，，无疑为生产流程的顺畅与品质的提升孝顺了不可或缺的实力。。
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主要用于半导体制程中对多路反应腔室的精准控温，，，装置由热交流器、循环泵、压缩机和控制系统组成，，，接纳先进的控制算法，，，提高了chiller的稳固性、控温精度和反应速率。。
。。。。 在带负载的情形下控温精度可达±0.5℃，，，可在-20℃~85℃之间恣意控温，，，有优异的温度稳固性。。
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热控卡盘平板又叫控温卡盘、控温平板、快速温变卡盘、崎岖温控温卡盘，，，该装备系统自身带制冷系统，，，阻止了液氮、二氧化碳的消耗，，，提供了一个准确可控的温度平台，，，可以快速加热、冷却或坚持温度，，，